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說的是什麼。”
“噗……”
張如京目瞪口呆。
但這也是。
像這麼專業的知識,別說是英語一般的,哪怕是英語很牛逼的也感覺是聽天書。
不過,既然來了,雖然有些聽不懂,但陳宇也沒有提前離開。
“這是日本佳能的技術大佬?”
隨著一個一個技術大拿紛紛演講結束,這時,陳宇卻看到講臺上走上了一位黃面板黑眼睛的亞洲人。
“不是,他是一位越南籍華人,他叫林本艱,祖上好像也是客家人,臺積電的技術大拿,在光刻機這一塊很有研究。”
“噢。”
陳宇點頭。
他這一次來這裡聽研討會的目的,不就是為了光刻機嗎?
原本他以為,只要涉及到光刻機的,要麼是荷蘭,要麼是德國,要麼是日本。
沒想到,在光刻機領域竟然還有一位華人大拿。
這一次,他倒要認真的聽了。
但可惜。
雖然林本艱會說中文,但在這樣的全球性研討會上,演講用的還是英語。
與此前一樣,陳宇也感覺在聽天書。
聽了好一會,陳宇只聽到乾式,溼式什麼的。
“張總,那個林本艱說的乾式和溼式是什麼意思?”
“說的是生產光刻機的一種技術工藝,目前我們大部分普遍用的是乾式光刻機生產工藝。也就是用空氣做為鏡頭與晶圓間的介質,讓光罩上的圖形在晶圓上成象。不過,這個林本艱覺得,還可以用一種溼式工藝。”
“什麼是溼式?”
,!
“他說的這個溼式名字叫做浸潤式,與溼式差不多。但用的介質卻不一樣,我們一般現在用的是空氣,而林本艱提成了用水做為浸潤式的介質。”
“水?”
聽到水這個詞,陳宇陳宇有些激動。
記得前世,其實在開始之初,荷蘭asl與德國,與日本幾大光刻機公司實力都差不多。
為什麼後來asl卻是一統天下,完全與這一些光刻機公司選擇的路線有關。
當時日本,德國,包括美國這一些光刻機公司路線選擇出錯。
而asl卻是花重金開闢了另一條光刻機生產工藝。
這個工藝,就涉及到水,也就是林本艱現在提到的浸潤式。
“您覺得他的這個工藝有沒有前途?”
陳宇不是很懂技術,但卻知道,這是決定未來光刻機命運的時刻。
在前世2008年之後,全球90以上生產出來的晶片,用的都是林本艱所提出來的溼式光刻工藝。並且,也正因為林本艱提出了這個溼式工藝,這才將晶片從190奈米,一路做到了130奈米,90奈米,65奈米,40奈米,28奈米,20奈米,16奈米,10奈米,7奈米,和5奈米。甚至,連最為尖端的3奈米,採用的都是林本艱的溼式光刻技術。
“這個,說不準,理論上有可能,但裡面還存在著一系列要解決的問題。比如,水會不會產生汽泡,水會不會汙染裝置,要怎麼做防水,水遇熱會膨脹,折射率會改變,這又怎麼解決……”
張如京向陳宇述說著這一個溼式光刻工藝所面對的問題。
只是,這個時候,陳宇的眼睛已經盯緊了林本艱。
他知道。
未來若干年之後,這一切的問題都不會成為問題。
如果抓住這個林本艱,那麼,中國光刻機就有希望了。
:()重生之網路爭霸
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